據(jù)立木信息咨詢發(fā)布的《中國高純度半導體密封件行業(yè)發(fā)展及前景預測報告(2023-2029年)》顯示:半導體氟橡膠密封圈被廣泛應用于半導體制造設備,成膜、蝕刻、擴散和清洗等設備。應用于半導體制造設備的密封件對于外觀、尺寸公差、異物等要求嚴格,產(chǎn)品的良率比較低。
半導體專用氟橡膠密封圈是半導體設備關(guān)鍵零部件之一。目前完全受制于美國、日本等國外企業(yè)的供應,處于被動地位。
目前市場占有率高的全氟醚密封件品牌有美國的杜邦(Kalrez)、GT(Chemraz)、PARKER(Perfluoro),日本大金(DUPRA)和英國PPE(Perlast)等,其中杜邦(Kalrez)和GT(Chemraz)產(chǎn)品群豐富,性能優(yōu)越,占全球市場的60%~70%。
在中國,高純度半導體密封件最早的生產(chǎn)企業(yè)是2020年成立的上海芯密科技有限公司和2021年成立的上海芯之翼半導體材料有限公司;2022年成都道弘實業(yè)有限公司成立了子公司四川弘芯氟醚科技,也從事高純度半導體密封件的生產(chǎn);2023年日本大金在廣東設立了大金清研先進科技(惠州)有限公司也將投入高純度半導體密封件的生產(chǎn)。
2022年中國高純度半導體密封件產(chǎn)量12.57萬件,同比增長89.0%;2023年上半年中國高純度半導體密封件產(chǎn)量8.81萬件,同比增長40.2%。
近年來中國半導體制造業(yè)長期處于禁運的陰影下,整個產(chǎn)業(yè)鏈都在尋求國產(chǎn)化替代,同時“十四五”規(guī)劃中,國家對半導體行業(yè)的大力扶持,使得整個半導體相關(guān)行業(yè)面臨著前所未有的變局,相信高純度半導體密封件也能趁著東風,為中國半導體產(chǎn)業(yè)鏈自主可控貢獻一份力量。